中新网北京7月8日电 (记者 陈建)“十四五”时期，北京经济技术开发区(简称经开区，也称北京亦庄)要继续强化集成电路制造和装备环节优势，确立在全国集成电路全产业链发展的领导地位。
在8日举行的北京亦庄创新发布会上，经开区经济发展局副局长李冬明在介绍《“十四五”时期北京经济技术开发区发展建设和二〇三五年远景目标规划》(以下简称《规划》)时如是说。
李冬明指出，北京经开区始终坚持在服务服从国家战略中发展自己，“十四五”期间，在产业链创新链上将进一步发力，以“白菜心”工程等重大攻坚项目为抓手，继续强化集成电路制造和装备环节优势，确立经开区在全国集成电路全产业链发展的领导地位。
发布会上，中电科电子装备集团有限公司(以下简称电科装备)发布了在离子注入机、化学机械抛光设备(CMP)、湿法设备等技术上的突破成果。
离子注入机是集成电路制造前道工序中的关键设备，难度仅次于光刻机。它通过对半导体表面附近区域进行掺杂，引起材料表面成分、结构和性能发生变化。
电科装备战略计划部主任李进透露，目前电科装备已实现离子注入机全谱系产品国产化，可为芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
化学机械抛光设备(CPM)和湿法设备也是集成电路制造核心、关键设备之一。李进介绍，电科装备8英吋CMP设备市占率达70%，12英吋CMP进入客户验证，性能表现优异。电科装备湿法设备已进入到8英吋集成电路外延片加工和芯片制造领域。
他说：“北京经开区作为全国集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域之一，聚焦了中芯国际、北方华创等龙头企业，形成完备的集成电路产业链。‘十四五’时期，经开区还将继续大力推动新一代信息技术，电科装备将抓紧这些有利契机，努力成为具有全球竞争力的世界一流高端集成电路制造装备企业。”
发布会现场，装载全集成芯片实验室系统的新冠病毒核酸检测移动实验室首次在北京对媒体开放。
这个全国首款由轻型客车装载的移动实验室，被钟南山院士称为“轻骑兵”，由清华大学、生物芯片北京国家工程研究中心和北京博奥晶典生物技术有限公司(简称博奥晶典)共同研发。
博奥晶典科研办主任任军介绍，“轻骑兵”接通220V民用电或启动车上自带的发电机即可正常工作，采样可通过口咽拭子采样机械臂和人工两种方式完成。其装载的全集成芯片实验室系统45分钟即可完成全程实验，最快35分钟报告阳性结果，检测灵敏度可达150拷贝/毫升，处于行业领先水平。
任军说：试剂和配套仪器均已获得国家药监局应急审批批准，可部署于港口口岸、医疗条件相对落后地区。“迄今，抗疫‘轻骑兵’已经由北向南辗转奔波了数千公里，在安徽、广东等疫情防控一线中持续贡献抗疫科技力量。”(完)